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    離子去膠機 型號:PR-3

    發布時間: 2021-04-08  點擊次數: 686次

    離子去膠機 型號:PR-3

    通過等離子體方法,對陶瓷片、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進行干法去除。設備為單室真空系統,主要由真空系統、氣路系統、電氣系統、射頻電源系統、控制系統、冷卻系統、報警系統等部分組成。 
    射頻電源采用RF500W電源控制。 
    氣路系統采用兩臺浮子流量計控制氣體進氣。
      腔室結構:臥式、純石英
      真空室規格:F210´300mm
      限真空:1Pa(環境濕度≤55%)
      真空系統:機械泵
      大裝片直徑: F4英寸
       大裝片容量:4英寸 25片/爐
      去膠速率: ~500A/min
      去膠不均勻性:≤±5% (φ4吋范圍內)
      操作方式:手動方式
    用戶可選配全自動控制方式

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